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纳米厚度薄膜外差椭偏测量技术的研究
作者: 邓元龙, 姚建铨, 阮双琛, 孙秀泉, 王鹏 主题: 光学测量, 薄膜, 外差干涉法, 椭偏测量术, 声光调制器, 纳米精度 年份: 2005
摘要: 结合激光外差干涉法和透射式椭偏测量原理,研究了一种快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法。计算并分析了复灵敏度因子随薄膜参数和入射角度的变化规律、椭偏参数的选择及容许测量误差。两个声光调制器产生20khz的拍频,采用简单的直接比相方法即可获得优于0.1°的相位分辨率,而且测量系统中没有使用任何波片和运动部件,抗干扰能力强且测量过程完全自动化,适用于工业现场在线连续测量。实验数据和理论分析表明,此方法可以达到亚纳米级测量精度。
外差椭偏测量技术及其混频误差分析
作者: 邓元龙, 姚建铨, 阮双琛, 孙秀泉, 王鹏 主题: 椭偏测量术, 外差干涉, 薄膜, 混频误差, 评价因子 年份: 2005
摘要: 结合激光外差干涉术和反射式椭偏测量技术,设计了一种抗干扰能力强,快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法。着重分析并计算了非线性混频误差对测量精度的影响,其中塞曼激光和波片产生的光束椭偏化是关键因素。定义了评价因子以比较非线性混频误差的相对大小,这对外差椭偏纳米薄膜测量系统的设计有指导意义。
硅烷低温等离子体阶跃响应的仿真(1)
作者: 杨靖, 李景镇, 孙秀泉, 龚向东 主题: 迁移率, 扩散系数, 阶跃响应, 等离子体振荡 年份: 2005
摘要: 了解含有负离子的低温等离子体的过渡特性,在等离子体控制过程中,尤其在选择性等离子体腐蚀工艺和改善电荷堆积等现象中是十分重要的课题.对电源驱动频率为13.56mhz,压力为0.5torr(0.5×103.33pa)状态下的硅烷(sih4)低温等离子体的阶跃响应进行仿真.当电源电压振幅从550v阶跃减小到350v时,硅烷低温等离子体表现出以数千rf周期为周期的振荡现象,等离子体中的带电粒子的运动变化决定了振荡现象的产生和振荡周期等特性.
大功率激光光纤透镜耦合系统设计
作者: 邓元龙, 姚建铨, 阮双琛, 孙秀泉 主题: 耦合系统, 类高斯光束, 光纤激光器, 优化设计 年份: 2005
摘要: 在不考虑像差的情况下,采用傍轴光线传输abcd定律,结合混合模系数m(或m2)的定义,研究了大功率ld尾纤输出的混合模类高斯光束经透镜之后束腰及束腰位置和发散角的变化,并在此基础上,利用matlab软件中的优化设计工具,提出一种设计大功率激光光纤准直———聚焦双透镜耦合系统的简单方法,最后给出了一个光子晶体光纤激光器透镜耦合系统设计实例.
手征对称性自发破缺对中子星的影响
作者: 王楠, 孙秀泉 主题: 中子星, 手征对称性自发破缺, 相对论平均场 年份: 2005
摘要: 采用su(2)手征对称性自发破缺的非线性实现模型,研究中子星物质的组成及中子星的宏观性质.发现手征对称性自发破缺对于中子星的成分有一定程度的影响,这种效应使重子数密度较高时的单核子能量降低约10mev,有效质量下降约20mev.研究结果表明,该效应对中子星物质有“软化”作用,使中子星质量有一定降低.
基于能力培养的工科专业课教学模式改革与探索
作者: 邓元龙, 孙秀泉, 胡居广, 吴玉斌 主题: 工科专业课, 教学模式, 能力培养, 改革与探索, 专业课教学, 课堂教学, 大作业, 考核体系, 现状与问题, 教学改革 年份: 2005
摘要: 分析了目前我国工科专业课教学现状与问题,借鉴英国高等工程教育中的专业课教学模式,以培养学生自主学习能力和工程实践能力为导向,研究了课堂教学、实践大作业和专业课考核体系等环节的教学改革与具体措施。
透射式外差椭偏测量及非线性误差分析
作者: 邓元龙, 姚建铨, 阮双琛, 孙秀泉, 吴玉斌 主题: 椭偏测量术, 外差干涉, 非线性误差, 薄膜测量, 声光调制器 年份: 2005
摘要: 结合激光外差干涉法和透射式椭偏测量原理,研究了一种快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法.给出了光学系统设计和理论分析,使用两个声光调制器产生20 kh z的差频,直接比较平行分量和垂直分量外差信号的幅值和相位,得到所需要的椭偏参数.光束偏振态的椭圆化及偏振分光不完全所引起的非线性误差是影响纳米薄膜测量精度的主要因素,推导出椭偏参数非线性误差的近似解析表达式,计算结果表明由此导致的膜厚测量误差可达几个nm,相对而言,激光器和反射镜等器件产生的光束椭偏化是其主要原因.
出口加工区的成本与收益——以发展中国家出口加工区为例
作者: 甘和平, 钟坚 主题: 成本-收益框架, 出口加工区, 经济发展 年份: 2005
摘要: 本文在对成本—收益模型进行科学阐释的基础上,分析出口加工区(epz)对东道国的影响。进而分析随着工业化的不断推进,从生命周期理论的观点看,市场价格与机会成本之间差距变小,epz将趋向于消亡。最后,提出发展中国家可以考虑利用epz对就业、工业化和市场化的积极作用,促进东道国经济的发展。
一维缺陷光子晶体的模式特性研究
作者: 欧阳征标, 杨琳玲, 许桂雯, 阮双琛, 李景镇 主题: 应用光学, 光子晶体, 缺陷, 缺陷模, 模式移动 年份: 2005
摘要: 利用光学传输矩阵方法研究对称和非对称一维缺陷光子晶体的缺陷模式特性。研究发现:1个缺陷可以导致光子禁带中出现多个缺陷模式;缺陷夹层厚度为零时,非对称结构中缺陷模消失,而对称结构中仍然存在缺陷模;两种结构的缺陷模式数目以及每个缺陷模的位置波长值均与缺陷夹层的光学厚度按正比例关系增加;两种结构的模式移动速度基本相等,并且与缺陷模式的阶数按反比例规律下降。
光子晶体微谐振腔的调谐特性
作者: 欧阳征标, 许桂雯, 孙一翎, 张登国, 阮双琛, 李景镇 主题: 谐振腔, 调谐, 线性, 光子晶体, 缺陷 年份: 2005
摘要: 利用光学传输矩阵法研究了3种基于一维缺陷态光子晶体的微谐振腔的调谐特性。结果发现,对于每种结构,在某一波长的波垂直进入光子晶体时,在缺陷层位置会激发起幅度远大于入射波幅度的场,即产生了谐振现象并形成了微谐振腔;改变缺陷层厚度可对谐振波长调谐;对于缺陷层两侧为高折射率介质层的结构1和结构2,调谐特性呈现出非线性;而对于缺陷层两侧为低折射率介质层的结构3,调谐特性是线性的。在单模工作条件下,结构1和2的调谐范围约为结构3的3倍。

 

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