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Please use this identifier to cite or link to this item: http://ir.calis.edu.cn/hdl/244041/2103

Title: 外差椭偏测量技术及其混频误差分析
Authors: 天津大学精密仪器学院激光及光电子研究所
深圳大学工程技术学院
天津大学精密仪器学院激光及光电子研究所 天津300072深圳大学工程技术学院
广东深圳518060
天津300072
邓元龙
姚建铨
阮双琛
孙秀泉
王鹏
Keywords: 椭偏测量术
外差干涉
薄膜
混频误差
评价因子
Issue Date: 2005-06-25
Citation: 激光与红外 2005 (06) 438-440
Abstract: 结合激光外差干涉术和反射式椭偏测量技术,设计了一种抗干扰能力强,快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法。着重分析并计算了非线性混频误差对测量精度的影响,其中塞曼激光和波片产生的光束椭偏化是关键因素。定义了评价因子以比较非线性混频误差的相对大小,这对外差椭偏纳米薄膜测量系统的设计有指导意义。
URI: http://ir.calis.edu.cn/hdl/244041/2103
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