CALIS IR
English   中文  

| Receive email updates | My CALIS IR | Edit Profile |

CALIS机构知识库 > → 电子科学与技术学院 > → 期刊论文 >


Please use this identifier to cite or link to this item: http://ir.calis.edu.cn/hdl/244041/2102

Title: 纳米厚度薄膜外差椭偏测量技术的研究
Authors: 天津大学精密仪器学院激光及光电子研究所
深圳大学工程技术学院
天津大学精密仪器学院激光及光电子研究所 天津 300072深圳大学工程技术学院深圳 518060
天津 300072
深圳 518060
邓元龙
姚建铨
阮双琛
孙秀泉
王鹏
Keywords: 光学测量
薄膜
外差干涉法
椭偏测量术
声光调制器
纳米精度
Issue Date: 2005-05-20
Citation: 光学技术 2005 (03) 391-393
Abstract: 结合激光外差干涉法和透射式椭偏测量原理,研究了一种快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法。计算并分析了复灵敏度因子随薄膜参数和入射角度的变化规律、椭偏参数的选择及容许测量误差。两个声光调制器产生20kHz的拍频,采用简单的直接比相方法即可获得优于0.1°的相位分辨率,而且测量系统中没有使用任何波片和运动部件,抗干扰能力强且测量过程完全自动化,适用于工业现场在线连续测量。实验数据和理论分析表明,此方法可以达到亚纳米级测量精度。
URI: http://ir.calis.edu.cn/hdl/244041/2102
Appears in Collections:期刊论文

Files in This Item:

File Description SizeFormat
纳米厚度薄膜外差椭偏测量技术的研究.pdf1.18 MBAdobe PDFView/Open
Recommend this item
View Statistics

Items in CALIS IR are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

 

Copyright © 2001-2012  CALIS (Developed Based on CALIS IR Software) - Feedback Number of User on Line: 118     Total of Site Visit: 6638950